導電的金屬基片和多孔金層作為的電容的兩個極板，中間  是多空的金屬氧化膜。電容的大小取決于極板的大小、極板之間的距  離和極板之間絕緣體的介電常數。除了介電常數之外的兩個因素都是固定值，傳感器周圍的氣體會進入到傳感器微孔之中，其中水分的高  介電常數使傳感器的介電常數發生很大變化，并且這介電常數的變化  主要是由進入氧化膜微孔中的水分引起的，即使是氣體中的水分含量變化幅度很小。

獨特的結構

    納米微孔結構設計使傳感器在水分含量非常少的情況下  利用針對于水分的毛細管作用使傳感器內外達到平衡時，內外的水分濃度成指數比例，因此即使傳感器外的水分含量變化很小，傳感器的電容變化也會很大，這個電容的變化量足以讓儀器檢測到，因此使傳感器能夠具有更寬廣的測量范圍（‐110～+20℃dp），并且響應更靈敏，漂移量更小，耐用性更好。

?美國菲美特公司的露點分析儀采用納米薄膜同軸電容法原理，測試氣體中水份含量，是世界上*先進的技術。
?納米傳感器具有吸附大量水分子的能力，露點可測低至 ‐110℃dp；
?菲美特公司校準實驗室可為每臺儀器執行 NIST 校準證書標準，保證其精度為± 2℃dp；
?通過傳感器干燥室存儲機制，響應時間還可以進一步加快，十分鐘可以得到測試趨勢讀數；
?內置的溫度傳感器和可選壓力傳感器可進行校準補償，保證測量的一致性和重復性；
?納米薄膜進一步保證數據漂移量更小，從而解決了常規電容法測量濕度的難題。